金融界2025年8月13日音讯，国家知识产权局信息数据显现，ASML荷兰有限公司请求一项名为“用于图画化进程功用确认的办法和设备”的专利，公开号CN120476348A，请求日期为2024年01月。

  专利摘要显现，一种用于确认图画化进程的功用的办法，该办法有：接纳衬底的一部分的图画，衬底的该部分包含榜首区域和至少第二区域，榜首区域包含与榜首图画化进程相关联的榜首特征，第二区域包含与第二图画化进程相关联的第二特征，其间，榜首特征和第二特征在被辐射照耀时构成莫尔图画，以及根据莫尔图画的特性确认图画化进程的功用。

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